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微机电系统概述
词条创建者:anyway88创建时间:08-09 15:36
标签: 微机电系统

摘要:微机电系统,英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写),其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。[阅读全文]

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